electron beam scanning system 电子束扫描系统
EBS Electron Beam Scanning System 电子束扫描系统
EBSS Electron Beam Scanning System 电子束扫描系统
scanning-electron-beam lithography system 扫描电子束曝光机
Scanning-Electron-Beam Lithographic System 电子束扫描曝光机
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The deflection system of an electron beam lithography tool is used to control deflection scanning of electron beam.
电子束曝光机的偏转系统控制电子束偏转扫描。
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